由于离子的质量远大于电子，故离子束加工的生产率比离子束高，但表年粗糙度稍差。

离子束加工时，由于离子质量大，当速度高、能量大时，垂直撞击时离子可注入工件材料内部，称（）。当速度低、能量小时，离子可以溅射镀覆在工件表面，称（）。当能量速度（）而倾斜撞击工件时，可将工件表面的分子，原子撞击出去，一层一层的剥离下来，称为（）加工或（）加工。

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离子束加工装置与电子束加工装置类似，不同的是用（）取代了（）。

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电子束、离子束加工均需在（）中进行。

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电子束加工、离子束加工和激光加工各自的工作原理和应用范围如何？各有什么优缺点？

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电子束加工,离子束加工和激光加工相比各自的使用范围如何,三者各有什么优缺点

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电子束加工、离子束加工和热作用各自的工作原理和应用范围如何？各有什么优缺点？

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电子束和离子束加工为什么必须在真空条件下进行？

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电子束和离子束加工为什么必须在真空条件下进行？

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电子束和离子束加工为什么必须在真空条件下进行？

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