简答题

简述低压CVD系统(LPCVD)的优缺点。

正确答案

反应速度限制为主、温度控制要求高。
优点:膜致密、颗粒少,硅片可密集摆放,台阶覆盖较好(主要决定于反应气体)。
缺点:速度较慢。

答案解析

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