A对
B错
缩略语PECVD、LPCVD、HDPCVD和APCVD的中文名称分别是()、()、高密度等离子体化学气相淀积和()。
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PECVD所采用的等离子种类有()。
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简述低压CVD系统(LPCVD)的优缺点。
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LPCVD反应是受气体质量传输速度限制的。
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与APCVD相比,LPCVD有更低的成本、更高的产量以及更好的膜性能,因此应用更为广泛。
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工业工程正是由于不断吸收现代科技成就,尤其是()、()、()及相关的学科知识,有了理论基础和科学手段,才得以由经验为主发展到以定量分析为主;以研究生产局部或小系统的改善,到研究大系统的整体()和()的提高,而成为一门独立的学科。
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科学的研究方法是在()中逐渐创造发展起来的,并随着科学技术的发展而完善。
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应宇航事业发展而开发的电池是:()
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“感知中国”是我国政府为促进什么技术发展而制定的()。
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