为了保证保护装置能可靠地动作，27.5A的接地电流只能保证断开动作电流不超过多少的继电保护装置。（）

工艺文件的电子文档化要注意哪些问题？怎样才能保证工艺文件的电子文档是安全可靠的？

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为了满足半导体器件对金属材料的低电阻连接以及可靠的要求，金属材料应该满足（）。

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刻蚀是把进行光刻前所沉积的薄膜厚度约在数千到数百A之间中没有被（）覆盖及保护的部分，以化学作用或是物理作用的方式加以去除，以完成转移掩膜图案到薄膜上面的目的。

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在保证贴片质量的前提下，贴片应该考虑哪些因素？

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离子注入装置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系统等。

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电子束蒸发的设备中产生电子束的装置称为（）。

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涂胶之前，要保证晶片的质量以及涂胶工序的顺利进行，下列操作正确的是（）。

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在靶片前方设一抑制栅，作用是将（）抑制回去，从而保证测量的准确性。

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引出系统要求能引出分散性较好的强束流，还希望具有较（）的气阻。

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