下列哪些因素会影响临界注入量的大小：（）。

哪种方法可以增加缺陷的积累率而降低临界注入量：（）。

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下列哪些因素不会影响到显影效果的是（）。

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降低靶的温度，有利于非晶层的形成，所以临界注入量随之（）。

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为了解决中性束对注入均匀性的影响，可在系统中设有（），使离子束偏转后再达到靶室。

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在对层间绝缘膜进行CMP时，层间绝缘膜的表面会随下列那些因素产生变化（）。

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电流通过导线时，在导线里因电阻损耗而产生热量，导线的温度就会升高。导线的温度与下列哪项因素无关（）。

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选用电源软导线时应该考虑哪些因素？

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早期，研究离子注入技术是用（）来进行的。

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离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。

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