化学气相沉积

化学气相沉积（CVD）

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化学气相沉积与物理气象沉积技术的区别是什么，它们的主要应用场合？

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目前正在广泛研究的有化学气相沉积法、（）、固相结晶、等。

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在多晶硅电池片上用等离子体进行的化学气相沉积法生产的氮化硅膜会产生哪两种效果？

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物理气相沉积？

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物理气相沉积

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碳化硅原料的合成方法（）；直接有元素碳和硅合成碳化硅；气体化合物制取碳化硅（气相沉积）。

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沉积岩中的化学沉积矿物主要有（）

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沉积岩中的化学沉积矿物主要有（）。

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