简答题

物理气相沉积?

正确答案

物理气相沉积,是指在真空的条件下,利用物理的方法,将材料气化成原子、分子或者使其电离成离子,并通过气相过程,在材料或者基体表面沉积一层具有某些特殊性能的薄膜技术。方法有: 真空蒸镀、溅射镀膜、离子镀膜。

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