简答题

例举并描述光刻中使用的两种曝光光源。

正确答案

汞灯,高压汞灯,电流通过装有氙汞气体的管子产生电弧放电,这个电弧发射出一个特征光谱,包括240纳米到500纳米之间有用的紫外辐射准分子激光,准分子是不稳定分子是有惰性气体原子和卤素构成只存在与准稳定激发态。

答案解析

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