电子刻蚀加工主要是通过热效应对工件进行加工，而离子刻蚀加工主要是通过（）效应对工件进行加工。

离子束撞击工件将引起变形、分离、嵌入、破坏等（）作用，而不像电子束是通过（）效应进行加工。

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微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。

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电火花线切割加工是通过（）和（）之间脉冲放电时电腐蚀作用，对工件进行加工。常用钼丝作为电极，且接在脉冲电源的正极。

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电火花线切割加工是通过工具电极和工件电极之间脉冲放电时电腐蚀作用，对工作进行加工。常用（）作为电极，且接在脉冲电源的正极。

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硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。

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电子束加工是利用电能使电子加速转换成动能撞击工件，又转换成热能来蚀除金属的。

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由于电火花加工的极性效应，当采用短脉冲加工时，工件应接（），这种加工一般用于对零件的（）。

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由于电火花加工的极性效应，当采用短脉冲加工时，工件应接（），这种加工一般用于对零件的（）。

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夹具成形磨削法加工平面或斜面可用（）和（），加工具有一个回转中心的工件用正弦分中夹具，加工具有多个回转中心的工件可用万能夹具。

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