微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。

微细加工工艺方法

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简述微细加工工艺方法。

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什么是光刻加工技术？试简述光刻加工的原理和工艺流程。

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光刻加工的工艺过程为：（）

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微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。

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热加工工艺方法主要包括铸造、（）、焊接、（）等加工方法。

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用半导体的微细加工技术，在非晶基片上通过使用微细的表面结构，考察了单晶成长方法，并命名为（）

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微型机械的特点有哪些？微细加工与一般尺寸加工是不同点在哪几个方面？

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小麦加工工艺中清理工序与稻谷加工相比，主要增加有（）、（）、（）等工艺操作。

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