简答题

射频放电与直流放电相比有何优点?

正确答案

直流放电中,电荷在表面的积聚会使电场减小,直到等离子体消失。在射频电场中,因为电场周期性地改变方向,带电粒子不容易到达电极和器壁而离开放电空间,相对地减少了带电粒子的损失。在两极之间不断振荡运动的电子可以从高频电场中获得足够的能量使气体分子电离,只要有较低的电场就可以维持放电。阴极产生的二次电子发射不再是气体击穿的必要条件。射频电场可以通过任何一种类型的阻抗耦合进入淀积室,所以电极可以是导体,也可是绝缘体。

答案解析

相似试题
  • 下图为直流等离子放电的I-V曲线,请分别写出a-g各段的名称。可用作半导体制造工艺中离子轰击的是其中哪一段?试解释其工作原理。

    简答题查看答案

  • 浸没式光刻机相对于传统的光刻机有何不同。

    简答题查看答案

  • 简述电子束光刻的光栅扫描方法和矢量扫描方法有何区别。

    简答题查看答案

  • 金丝球焊的优点是无方向性,键合强度一般()同类电极系统的楔刀焊接。

    填空题查看答案

  • pn结的击穿电压和反向漏电流既是晶体管的重要直流参数,也是评价()的重要标志。

    单选题查看答案

  • 双极晶体管的1c7r噪声与()有关。

    单选题查看答案

  • 非接触式厚膜电路丝网印刷时,丝网与基片之间有一定的距离,称为间隙,通常为()。

    单选题查看答案

  • 表面钝化工艺是在半导体芯片表面复盖一层保护膜,使器件的表面与周围气氛隔离。()

    判断题查看答案

  • 热蒸发法淀积薄膜的淀积速率与哪些因素有关?淀积速率的测量采用什么办法?

    简答题查看答案