典型的光刻工艺主要有哪几步？简述各步骤的作用。
简答题查看答案
简述光刻工艺原理及在芯片制造中的重要性？
什么是光刻中常见的表面反射和驻波效应？如何解决？
什么叫光刻？光刻工艺质量的基本要求是什么？
浸没式光刻机相对于传统的光刻机有何不同。
光刻工艺要求掩膜版图形黑白区域之间的反差要低。（）
判断题查看答案
光刻工艺一般都要经过涂胶、（）、曝光、（）、坚膜、腐蚀、（）等步骤。
填空题查看答案
在光刻中，能够在增加分辨率的同时增加聚焦深度吗？为什么？
根据曝光方式的不同，光学光刻机可以分成几类？各有什么优缺点？
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