激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度，以其波长（）μm的激光为长度基准，通过光的干涉、光电转换、电子计数等来实现长度的精确测量。

激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度，以其波长0.6823μm的激光为（）基准，通过光的干涉、光电转换、电子计数等来实现长度的精确测量。

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激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度，以其波长0.6823μm的激光为长度基准，通过光的干涉、光电转换、电子计数等来实现长度的（）测量。

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激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度，以其波长0.6823μm的激光为长度基准，通过光的干涉、光电转换、电子计数等来实现长度的精确测量。

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用于测量长度的激光干涉仪包括：激光头、干涉仪和（）3部分。

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用于测量长度的激光干涉仪包括：激光头、干涉仪两部分。

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激光干涉仪：激光是平面波，其光束发散角极小，几乎相当于一束平行光，激光的单色性好，（），所以用激光干涉法可进行长距离的测量。

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激光干涉仪的测量长度为（）。

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激光干涉仪的最大测量长度为（）。

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激光干涉仪，不适合对（）误差进行测量。

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