激光干涉仪的最大测量长度为（）。

激光干涉仪的最大测量长度为（）。

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激光干涉仪的测量长度为（）。

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激光干涉仪的测量精度为（）（L：被测量长度）

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双频激光干涉仪的测量精度为5×（）/L（L为测量长度）。

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激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度，以其波长（）μm的激光为长度基准，通过光的干涉、光电转换、电子计数等来实现长度的精确测量。

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激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度，以其波长0.6823μm的激光为长度基准，通过光的干涉、光电转换、电子计数等来实现长度的（）测量。

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激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度，以其波长0.6823μm的激光为长度基准，通过光的干涉、光电转换、电子计数等来实现长度的精确测量。

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用于测量长度的激光干涉仪包括：激光头、干涉仪两部分。

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用于测量长度的激光干涉仪包括：激光头、干涉仪和（）3部分。

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