A主轴箱
B直线反射镜
C仪器底座
D工作台
用于测量长度的激光干涉仪包括:激光头、干涉仪两部分。
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激光干涉仪主要用于长度测量,不能用作大型机床的精确定位以及精密机床位置精度的检测等。
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激光干涉仪的测量长度为()。
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激光干涉仪的最大测量长度为()。
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激光干涉仪的最大测量长度为()。
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激光干涉仪的测量精度为()(L:被测量长度)
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双频激光干涉仪的测量精度为5×()/L(L为测量长度)。
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激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度,以其波长()μm的激光为长度基准,通过光的干涉、光电转换、电子计数等来实现长度的精确测量。
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激光干涉仪就是利用干涉原理和激光的高稳定度,以其波长0.6823μm的激光为长度基准,通过光的干涉、光电转换、电子计数等来实现长度的()测量。
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