填空题

根据向衬底输送原子的方式可以把外延分为:()、()、()。

正确答案

气相外延;液相外延;固相外延

答案解析

相似试题
  • 外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层,分为同质外延和异质外延两大类。

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  • 高阻衬底材料上生长低阻外延层的工艺称为正向外延。

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  • 外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层,即外延层。

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  • 在外延工艺中,如果膜和衬底材料(),例如硅衬底上长硅膜,这样的膜生长称为();反之,膜和衬底材料不一致的情况,例如硅衬底上长氧化铝,则称为()。

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  • 制造晶体管一般是在高杂质浓度的n型衬底上外延一层n型外延层,再在外延层中扩散硼、磷而成的。

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  • 常压连续杀菌设备常用()作加热介质,按加热方式可以分为()式和淋水式两种.这种杀菌设备常用()式输送机输送,按传送方式可以分有()层式和()层式。

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