芯片上的物理尺寸特征被称为关键尺寸，即CD。

关键层是指那些线条宽度被刻蚀为器件特征尺寸的金属层。

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任何一个能直接的尺寸及其精度的变化，必将影响间接保证的尺寸及其精度，工艺尺寸链的这种特征性被称为（）。

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微电子器件的特征尺寸继续缩小的关键技术有哪些？

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CD是指硅片上的最小特征尺寸。

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零件与零件相配合时都有一个公差的差异，即最大极限尺寸与最小极限尺寸之差，通常我们称为（）。

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零件图上确定其它点、线、面的位置，即标注尺寸的起点称为工艺基准

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任何一个能直接的尺寸及其精度的变化，必将影响间接保证的尺寸及其精度，工艺尺寸链的这种特被称为（）

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在加工过程中，间接获得最后保证的尺寸被称为（）

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图样上的尺寸，由（）；（）线、尺寸数字和尺寸起止符号组成。

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