铝丝与铝金属化层之间用加热、加压的方法不能获得牢固的焊接,甚至根本无法实现焊接的原因是铝的表面在空气中极易生成一层(),它们阻挡了铝原子之间的紧密接触,达不到原子之间引力范围的间距。
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在扩散之前在硅表面先沉积一层杂质,在整个过程中这层杂质作为扩散的杂质源,不再有新的杂质补充,这种扩散方式称为:()
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什么是两步扩散工艺,其两步扩散的目的分别是什么?
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恒定表面源扩散的杂质分布在数学上称为什么分布?()
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杂质原子的扩散方式有哪几种?它们各自发生的条件是什么?从原子扩散的角度举例说明氧化增强扩散和氧化阻滞扩散的机理。
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什么是扩散效应?什么是自掺杂效应?这两个效应使得衬底/外延界面杂质分布有怎样的变化?
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集成电路制造中有哪几种常见的扩散工艺?各有什么优缺点?
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杂质原子在半导体中的扩散机理比较复杂,但主要可分为()扩散和()扩散两种。
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以P2O5为例,多晶硅中杂质扩散的方式及分布情况。
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