填空题

杂质原子在半导体中的扩散机理比较复杂,但主要可分为()扩散和()扩散两种。

正确答案

来源:www.examk.com

答案解析

相似试题
  • 杂质原子的扩散方式有哪几种?它们各自发生的条件是什么?从原子扩散的角度举例说明氧化增强扩散和氧化阻滞扩散的机理。

    简答题查看答案

  • 二氧化硅在扩散时能对杂质起掩蔽作用进行()扩散。

    单选题查看答案

  • 恒定表面源扩散的杂质分布在数学上称为()分布。

    单选题查看答案

  • 在扩散之前在硅表面先沉积一层杂质,在整个过程中这层杂质作为扩散的杂质源,不再有新的杂质补充,这种扩散方式称为:()

    填空题查看答案

  • 恒定表面源扩散的杂质分布在数学上称为什么分布?()

    单选题查看答案

  • 以P2O5为例,多晶硅中杂质扩散的方式及分布情况。

    简答题查看答案

  • 什么是扩散效应?什么是自掺杂效应?这两个效应使得衬底/外延界面杂质分布有怎样的变化?

    简答题查看答案

  • 热退火用于消除离子注入造成的损伤,温度要低于杂质热扩散的温度,然而,杂质纵向分布仍会出现高斯展宽与拖尾现象,解释其原因。

    简答题查看答案

  • 假设进行一次受固溶度限制的预淀积扩散,从掺杂玻璃源引入的杂质总剂量为Qcm-2。

    简答题查看答案