简答题

负性和正性光刻胶有什么区别和特点?

正确答案

特点:光刻胶都对大部分可见光灵敏,对黄光不灵敏。
区别:负性光刻胶使用时,未感光部分被适当的溶剂刻蚀,而感光部分留下,所得图形与掩膜版图形相反;正性光刻胶所得图形与掩膜板图案相同。

答案解析

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