有限表面源扩散
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有限表面源扩散与离子注入的杂质分布都满足高斯函数，两种掺杂工艺杂质最高浓度位置都在硅片表面。
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恒定温度、恒定总浓度下，均相混合物中分子扩散通量JA与（）成正比，其比例系数称为（）。
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恒定电势源电路的三相短路电流中包含短路电流（）分量和短路电流（）分量。
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理想电流源输出恒定的电流，其输出端电压由内电阻决定。
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与扩散源相比，离子注入有哪些优点？
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恒定干燥条件下，恒速干燥阶段物料的表面温度为（），降速干燥阶段物料的表面温度将（）空气的湿球温度。
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恒定干燥条件下，绝热对流干燥时，介质传到物料表面的热量与水分汽化所需的热量相比（）
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表面扩散
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