简答题

与扩散源相比,离子注入有哪些优点?

正确答案

1.可在较低的温度下,将各种杂质掺入到不同的半导体中;
2.能够精确控制晶圆片内杂质的浓度分布和注入的深度;
3.可实现大面积均匀性掺杂,而且重复性好;
4.掺入杂质纯度高;
5.由于注入粒子的直射性,杂质的横向扩散小;
6.可得到理想的杂质分布;7.工艺条件容易控制。

答案解析

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