填空题

立式炉的工艺腔或炉管是对硅片加热的场所,它由垂直的()、()和()组成。

正确答案

石英工艺腔;加热器;石英舟

答案解析

相似试题
  • 刻蚀是用()或()有选择地从硅片表面去除不需要材料的工艺过程,其基本目标是()。

    填空题查看答案

  • 快速热处理是一种小型的快速加热系统,带有辐射热和冷却源,通常一次处理一片硅片。

    判断题查看答案

  • 在集成电路制造工艺步骤中,光刻与刻蚀能把掩膜版上的图形转移到硅片上来。

    判断题查看答案

  • 涂层扩散法是用含有磷的溶液代替()进行()和加热,使磷向硅片中扩散形成pn结,具有简单易于大型化生产的优点。

    填空题查看答案

  • 有限表面源扩散与离子注入的杂质分布都满足高斯函数,两种掺杂工艺杂质最高浓度位置都在硅片表面。

    判断题查看答案

  • 管式加热炉的炉管长期在高温、高压、易腐蚀的条件下工作,在检测、检修过程中,当出现什么情况时需要对炉管进行更换?

    简答题查看答案

  • 管式加热炉的炉管在高温作用下的氧化属于以下哪种腐蚀?()

    单选题查看答案

  • 用于热工艺的立式炉的主要控制系统分为五部分()、()、气体分配系统、尾气系统和()。

    填空题查看答案

  • 晶体硅片蚀刻清洗的生产工艺有酸性蚀刻和碱性蚀刻两种,其中酸性蚀刻是采用()和硝酸的混合溶液,醋酸和磷酸当缓冲剂,一般去除约10-20μm厚的表面层。

    填空题查看答案