简述微细加工工艺方法。
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微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。
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微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。
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用半导体的微细加工技术，在非晶基片上通过使用微细的表面结构，考察了单晶成长方法，并命名为（）
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微细加工中的三束加工是指（），（），（）。
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电火花成型加工适宜加工低刚度工件及微细加工。
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热加工工艺方法主要包括铸造、（）、焊接、（）等加工方法。
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数控加工是在（）上进行零件加工的工艺方法。
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下列不属于成型零件的加工方法根据加工条件和工艺方法的是（）？
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