（）由钟罩、蒸气源加热器、衬底加热器、活动挡板和底盘构成。
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真空镀膜室内，在蒸发源加热器与衬底加热器之间装有活动挡板，用来（）。
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用真空蒸发与溅射法在硅片或二氧化硅膜上涂敷金属材料，是形成电极的（）。
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真空镀膜室是由（）几部分组成。
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真空蒸发又被人们称为（）。
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一般来说，溅射镀膜的过程包括（）这几步。
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电子产品的构成是怎样的？
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直流二极管辉光放电系统是由（）构成。
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悬浮在空气中的颗粒称为（）。
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