真空镀膜室内，在蒸发源加热器与衬底加热器之间装有活动挡板，用来（）。
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用真空蒸发与溅射法在硅片或二氧化硅膜上涂敷金属材料，是形成电极的（）。
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电子束蒸发的设备中产生电子束的装置称为（）。
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真空镀膜室是由（）几部分组成。
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真空镀膜室中的钟罩与底盘构成（）。
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按加热源的不同，可以分成（）几种不同类型的蒸发。
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扩散工艺使杂质由半导体晶片表面向内部扩散，改变了晶片（），所以晶片才能被人们所使用。
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悬浮在空气中的颗粒称为（）。
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离子散射方向与入射方向的夹角，称为（）。
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