电子束曝光抗蚀剂对离子的灵敏度要比对电子束（），因而可获得更加精细的图样。

离子束曝光，即用在大规模集成电路制作中，与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。

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在酸性氯化铜蚀刻过程出现抗蚀剂破坏的原因可能有（）。

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分子在离子源中在电子流的轰击下失去一个电子所形成的离子叫做（）

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若阳离子电荷相同，半径相近，则最外层电子层构型为（）电子构型的阳离子的极化力最小。

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电子束、离子束加工均需在（）中进行。

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由于离子的质量远大于电子，故离子束加工的生产率比离子束高，但表年粗糙度稍差。

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离子束加工装置与电子束加工装置类似，不同的是用（）取代了（）。

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某元素的二价阳离子核外有24个电子，该元素原子的外层电子构型是（）。

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请问下列所问是什么元素？ （1）某元素+2价离子和Ar的电子构型相同； （2）某元素的+3价离子和F-的电子构型相同； （3）某元素的+2价离子的3d电子数为7个

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