A二氧化锰
B铝
C氧化铬
D金刚石
铜互连金属多层布线中,磨料的粒径一般为()。
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在对层间绝缘膜进行CMP时,层间绝缘膜的表面会随下列那些因素产生变化()。
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在酸性浆料中,最常使用的氧化剂为()。
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在深紫外曝光中,需要使用()光刻胶。
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在深紫外曝光中,需要使用CA光刻胶,它的优点在于()。
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在深紫外曝光中,需要使用CA光刻胶,CA的含义是()。
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在生产过程中必须使用()来完成浅沟槽隔离STI。
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用真空蒸发与溅射法在硅片或二氧化硅膜上涂敷金属材料,是形成电极的()。
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晶体中,每个原子在晶格中有一定的平衡位置,原子在此位置时其势能为()。
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