电气测量技术的应用所以能在现代各种测量技术中占有重要的地位，是因为它具有很多优点，主要有：（）。

电气测量仪表若按照电流的种类来分，有（）。

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电气测量仪表中，整流式对电流的种类与频率的适用范围是（）。

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用电容－电压技术来测量扩散剖面分布是用了（）的原理。

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在确定扩散率的实验中，扩散层电阻的测量可以用（）测量。

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二氧化硅薄膜厚度的测量方法有（）。

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一般用（）测量注入的剂量。

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我们可以通过简单的结深测量和（）测量来获得扩散层的重要信息。

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在靶片前方设一抑制栅，作用是将（）抑制回去，从而保证测量的准确性。

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（）是测量在刻蚀过程中物质被移除的速率有多快的一种参数。

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