在确定扩散率的实验中，扩散层电阻的测量可以用（）测量。

在确定扩散率的测结深实验中，结深的测量是采用HF和（）的混和液对磨斜角进行化学染色的。

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我们可以通过简单的结深测量和（）测量来获得扩散层的重要信息。

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用电容－电压技术来测量扩散剖面分布是用了（）的原理。

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在空位扩散中，如果迁移的空位的原子是杂质原子，扩散称为（）。

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在空位扩散中，如果迁移到空位的原子是基质原子，扩散属于（）。

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如果磷在二氧化硅中扩散，对扩散率影响最大的因素是：（）。

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下列可作为磷扩散源的是（）。

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在热扩散工艺中的预淀积步骤中，磷的扩散温度为（）。

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在热扩散工艺中的预淀积步骤中，砷和锑的扩散温度为（）。

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