激光干涉仪的最小分辩率为（）。

双频激光干涉仪的最小分辨率为（）μm。

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用于测量长度的激光干涉仪包括：激光头、干涉仪两部分。

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用于测量长度的激光干涉仪包括：激光头、干涉仪和（）3部分。

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激光干涉仪的测量长度为（）。

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激光干涉仪的最大测量长度为（）。

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激光干涉仪的最大测量长度为（）。

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激光干涉仪的最大移动速度为（）。

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激光干涉仪，不适合对（）误差进行测量。

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激光干涉仪的测量精度为（）（L：被测量长度）

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