A2×10-7L
B5×10-7L
C5×10-8L
D3×10-8L
双频激光干涉仪的测量精度为5×()/L(L为测量长度)。
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激光干涉仪主要用于长度测量,不能用作大型机床的精确定位以及精密机床位置精度的检测等。
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激光干涉仪虽定位精度高,但因测量长度受限制,故仅适用于小型坐标镗床。
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激光干涉仪定位装置虽有定位精度高的优点,但测量长度受限制,故仅适用于小型坐标镗床。
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激光干涉仪定位装置虽有定位精度高的优点,但测量长度受限制,故仅适用于小型坐标铿床。
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激光干涉仪的测量长度为()。
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激光干涉仪的最大测量长度为()。
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激光干涉仪的最大测量长度为()。
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用于测量长度的激光干涉仪包括:激光头、干涉仪两部分。
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