多选题
A入射离子的能量
B入射离子的质量
C入射离子的原子序数
D靶原子的质量、原子序数、原子密度
E注入离子的总剂量
正确答案
答案解析
略
相似试题
降低靶的温度，有利于非晶层的形成，所以临界注入量随之（）。
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为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染，可在靶室前增加一个（）或采用无油泵。
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为了解决中性束对注入均匀性的影响，可在系统中设有（），使离子束偏转后再达到靶室。
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损伤的分布与注入离子在在靶内的（）的分布密切相关。
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在实际工作中，常常需要知道离子注入层内损伤量按（）的分布情况。
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离子从进入靶起到停止点所通过的总路程称作（）。
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离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。
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早期，研究离子注入技术是用（）来进行的。
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离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。
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