离子从进入靶起到停止点所通过的总路程称作（）。

对于非晶靶，离子注入的射程分布取决于（）。

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（）是指每个入射离子溅射出的靶原子数。

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为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染，可在靶室前增加一个（）或采用无油泵。

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为了解决中性束对注入均匀性的影响，可在系统中设有（），使离子束偏转后再达到靶室。

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离子束垂直进入均匀的正交磁场后，将同时受到电场力和（）的作用。

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离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成（）离子，并通过一个引出系统形成离子束。

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我们可以从测量去离子水的酸度来判别阴阳树脂谁先失效，阴树脂先失效，水呈（）性。

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降低靶的温度，有利于非晶层的形成，所以临界注入量随之（）。

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将具有交换能力的阳树脂和阴树脂按一定比例混合后，装在聚氯乙稀或有机玻璃做的圆柱形交换柱内，自来水（）通过交换柱就能称为高纯度去离子水。

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