双频激光干涉仪的测量精度为5×（）/L（L为测量长度）。

激光干涉仪的测量精度为（）（L：被测量长度）

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双频激光干涉仪的最小分辨率为（）μm。

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激光干涉仪主要用于长度测量，不能用作大型机床的精确定位以及精密机床位置精度的检测等。

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激光干涉仪虽定位精度高，但因测量长度受限制，故仅适用于小型坐标镗床。

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激光干涉仪定位装置虽有定位精度高的优点，但测量长度受限制，故仅适用于小型坐标镗床。

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激光干涉仪定位装置虽有定位精度高的优点，但测量长度受限制，故仅适用于小型坐标铿床。

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双频激光干涉仪能发出一束含有两个不同频率的左、右旋圆偏振光，这两部分谱线（f1和f2）与氖原子谱线（f2）的分布关系为（）。

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激光干涉仪的测量长度为（）。

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激光干涉仪的最大测量长度为（）。

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