激光干涉仪主要用于长度测量，不能用作大型机床的精确定位以及精密机床位置精度的检测等。

激光干涉仪不仅用于精密测量，还可用于大型机床的精密定位。

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用于测量长度的激光干涉仪包括：激光头、干涉仪两部分。

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用于测量长度的激光干涉仪包括：激光头、干涉仪和（）3部分。

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激光干涉仪的测量长度为（）。

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激光干涉仪的最大测量长度为（）。

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激光干涉仪的最大测量长度为（）。

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激光干涉仪的测量精度为（）（L：被测量长度）

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双频激光干涉仪的测量精度为5×（）/L（L为测量长度）。

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激光干涉仪虽定位精度高，但因测量长度受限制，故仅适用于小型坐标镗床。

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