扩散掺杂与离子注入掺杂所形成的杂质浓度分布各自的特点是什么?与扩散掺杂相比离子注入掺杂的优势与缺点各是什么?
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离子注入中静电扫描的主要缺点是离子束不能垂直轰击硅片,会导致光刻材料的阴影效应,阻碍离子束的注入。
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离子注入的缺点之一是注入设备的复杂性。
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离子注入机的主要部件以及它们的主要任务分别是什么?
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半导体热敏电阻的主要优缺点是什么?在电路中是怎样克服的?
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电子束加工、离子束加工和激光加工各自的工作原理和应用范围如何?各有什么优缺点?
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电子束加工、离子束加工和热作用各自的工作原理和应用范围如何?各有什么优缺点?
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电子束加工,离子束加工和激光加工相比各自的使用范围如何,三者各有什么优缺点
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分时集中采集的缺点是什么?怎样克服这样的缺点?
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