简答题

离子注入的主要缺点是什么?如何克服?

正确答案

1、高能杂质离子轰击硅原子将对晶体结构产生损伤。(高温退火进行修复)。
2、注入设备的复杂性。(被注入机对剂量和深度的控制能力及整体工艺的灵活性弥补)。

答案解析

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