简答题

离子注入机的主要部件以及它们的主要任务分别是什么?

正确答案

(1)离子源,离子源的任务是提供所需的杂质离子;
(2)质量分析器,对从离子源出来的离子进行筛选;
(3)加速器,保证注入离子的能量满足一定的要求;
(4)束流扫描器,离子束是一条直径约1~3的线状高速离子流,必须通过扫描覆盖整个注入区。

答案解析

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