离子散射方向与入射方向的夹角，称为（）。

射程在垂直入射方向的平面内的投影长度称之为（）。

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（）是指每个入射离子溅射出的靶原子数。

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由于离子交换树脂反应，它既可以去除水中杂质离子，又可以将失效树脂进行处理，恢复交换能力，所以称为（）反应。

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将具有交换能力的阳树脂和阴树脂按一定比例混合后，装在聚氯乙稀或有机玻璃做的圆柱形交换柱内，自来水（）通过交换柱就能称为高纯度去离子水。

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离子源产生的离子在（）的加速电场作用下得到加速。

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离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。

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早期，研究离子注入技术是用（）来进行的。

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离子源腔体中的气体放电形成（）而引出正离子的。

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离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。

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