简答题

单晶硅硅片的制造过程?

正确答案

首先将用CZ法得到的单晶硅铸模用专用切割机进行切割。目前太阳能电池用的铸模,仍以生产性能高的线形锯切割为主,然后对切割面进行研磨,使其表面平滑。由于切割面是被机械冲击过的,因此会残留结晶变形,使电气特性变坏,因此需用HF+HNO3进行腐蚀,使表面减薄10~20μm的程度。最终得到约为300μm厚的硅片。

答案解析

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