在空位扩散中，如果迁移到空位的原子是基质原子，扩散属于（）。

在空位扩散中，如果迁移的空位的原子是杂质原子，扩散称为（）。

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如果磷在二氧化硅中扩散，对扩散率影响最大的因素是：（）。

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如果固体中的原子排列情况是紊乱的，就称之为（）。

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对于浓度覆盖很宽的杂质原子，可以采用（）方法引入到硅片中。

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在确定扩散率的实验中，扩散层电阻的测量可以用（）测量。

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扩散工艺在现在集成电路工艺中仍然是是一项重要的集成电路工艺，现在主要被用来制作（）。

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晶体中，每个原子在晶格中有一定的平衡位置，原子在此位置时其势能为（）。

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在确定扩散率的测结深实验中，结深的测量是采用HF和（）的混和液对磨斜角进行化学染色的。

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菲克一维扩散定律公式中的J是代表单位面积溶质（）。

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