如果固体中的原子排列情况是紊乱的，就称之为（）。

在空位扩散中，如果迁移的空位的原子是杂质原子，扩散称为（）。

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在空位扩散中，如果迁移到空位的原子是基质原子，扩散属于（）。

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固体中的扩散模型主要有填隙机制和（）。

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（）是因为吸附原子在晶片表面上彼此碰撞并结合所形成的。

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离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成（）离子，并通过一个引出系统形成离子束。

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用高能粒子从某种物质的表面撞击出原子的物理过程叫（）。

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射程在垂直入射方向的平面内的投影长度称之为（）。

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对于浓度覆盖很宽的杂质原子，可以采用（）方法引入到硅片中。

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晶体中，每个原子在晶格中有一定的平衡位置，原子在此位置时其势能为（）。

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