对于浓度覆盖很宽的杂质原子，可以采用（）方法引入到硅片中。

在空位扩散中，如果迁移的空位的原子是杂质原子，扩散称为（）。

单选题查看答案

离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成（）离子，并通过一个引出系统形成离子束。

单选题查看答案

二氧化硅生长过程中，当分凝系数小于1时，会使二氧化硅-硅界面处硅一侧的杂质浓度（）。

单选题查看答案

由于离子交换树脂反应，它既可以去除水中杂质离子，又可以将失效树脂进行处理，恢复交换能力，所以称为（）反应。

单选题查看答案

半导体硅常用的施主杂质是（）。

单选题查看答案

危害半导体工艺的典型金属杂质是（）。

单选题查看答案

半导体硅常用的受主杂质是（）。

单选题查看答案

下列扩散杂质源中，（）不仅是硅常用的施主杂质，也是锗常用的施主杂质。

多选题查看答案

钠、钾等大离子在二氧化硅结构中是（）杂质。

单选题查看答案