X射线荧光光谱法是基于原子内层电子能级跃迁的光谱法。

X射线是由高能电子的（）运动或原子内层轨道电子（）产生的短波电磁辐射。

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能量色散X射线荧光光谱仪的Si（Li）检测器和前置放大器在室温下锂原子会在硅中扩散，由此影响检测器的性能。因此必须放置在液氮中，使电子噪声降低至可接受水平。

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X射线荧光光谱分析中，X射线光强度和管电压V的平方、管电流I以及靶元素原子序数Z成正比。

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X射线荧光光谱分析散射背景内标法是用由连续谱线的散射线构成的本底（背景）为内标的校正方法。

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X射线荧光光谱分析中，对于不同元素的同名谱线，随着原子序数的增加，波长变短。特征光谱的这些物理现象和特点，主要是由各种元素的化学成分决定的。

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X射线荧光光谱分析中，各元素的同系谱线激发电位和同系特征光谱的波长，随原子序数的大小而变化，与管电压和管电流的大小也有关。

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试样受X射线照射后，其中各元素原子的（）被激发逐出原子而引起壳层电子跃迁，并发射出该元素的特征X射线称为二次X射线，或称为X射线荧光。

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X射线荧光光谱分析康普顿散射线内标法是根据靶线的康普顿散射线的强度很敏感地受样品成分的影响而设计的分析方法。

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波长色散X射线荧光光谱仪是利用（）将不同波长的X射线荧光分开，得到单色X射线荧光光谱。

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