多选题
A高压氧化
B湿氧氧化
C掺氯氧化
D氢氧合成氧化
E等离子增强氧化
正确答案
答案解析
略
相似试题
采用热氧化方法制备的二氧化硅从结构上看是（）的。
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采用热氧化方法制备的二氧化硅从结构上看是（）的。
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当热氧化的最初阶段，（）为限制反应速率的主要原因。
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通常热扩散分为两个大步骤，其中第一个步骤是（）。
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降低靶的温度，有利于非晶层的形成，所以临界注入量随之（）。
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在热扩散工艺中的预淀积步骤中，磷的扩散温度为（）。
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在热扩散工艺中的预淀积步骤中，砷和锑的扩散温度为（）。
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在热扩散工艺中的预淀积步骤中，硼在900～1050℃的条件下，扩散时间大约（）为宜。
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在热扩散工艺中的预淀积步骤中，硼在950～1100℃的条件下，扩散时间大约（）为宜。
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