（）是与气体辉光放电现象密切想关的一种薄膜淀积技术。

直流二极管辉光放电系统是由（）构成。

多选题查看答案

在直流二极管辉光放电系统的玻璃管中，自由电子在碰撞氩原子之前可运动的平均距离又叫（）。

单选题查看答案

离子源腔体中的气体放电形成（）而引出正离子的。

单选题查看答案

（）是以物理的方法来进行薄膜沉积的一种技术。

单选题查看答案

（）是测量在刻蚀过程中物质被移除的速率有多快的一种参数。

单选题查看答案

在各种离子源常用的放电方式中，EOS是指有（）。

单选题查看答案

损伤的分布与注入离子在在靶内的（）的分布密切相关。

单选题查看答案

离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。

多选题查看答案

离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。

多选题查看答案