在直流二极管辉光放电系统的玻璃管中，自由电子在碰撞氩原子之前可运动的平均距离又叫（）。

直流二极管辉光放电系统是由（）构成。

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（）是与气体辉光放电现象密切想关的一种薄膜淀积技术。

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在各种离子源常用的放电方式中，EOS是指有（）。

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试说明光电二极管的结构和工作原理是什么？

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离子源腔体中的气体放电形成（）而引出正离子的。

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试说明发光二极管的结构和工作原理。发光二极管的特征参数和极限参数有哪些？

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将具有交换能力的阳树脂和阴树脂按一定比例混合后，装在聚氯乙稀或有机玻璃做的圆柱形交换柱内，自来水（）通过交换柱就能称为高纯度去离子水。

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下列有关曝光系统的说法正确的是（）。

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离子注入装置的主要部件有（）、分析器、加速聚焦系统等。

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