下列可作为磷扩散源的是（）。

如果磷在二氧化硅中扩散，对扩散率影响最大的因素是：（）。

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下列哪些元素在硅中是快扩散元素：（）。

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下列扩散杂质源中，（）不仅是硅常用的施主杂质，也是锗常用的施主杂质。

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按加热源的不同，可以分成（）几种不同类型的蒸发。

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离子源的基本结构是由产生高密度等离子体的（）和引出部分组成。

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离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成（）离子，并通过一个引出系统形成离子束。

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在空位扩散中，如果迁移到空位的原子是基质原子，扩散属于（）。

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在空位扩散中，如果迁移的空位的原子是杂质原子，扩散称为（）。

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扩散工艺现在广泛应用于制作（）。

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