为什么说洁净技术是半导体芯片制造过程中的一项重要技术?
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操作人员的质量职责是什么?
简述RTP设备的工作原理,相对于传统高温炉管它有什么优势?
设备、试剂、气瓶等所有物品不需经严格清洁处理,可直接进入净化区。()
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什么叫光刻?光刻工艺质量的基本要求是什么?
什么叫晶体缺陷?
根据原理分类,干法刻蚀分成几种?各有什么特点?
简述在芯片制造中对金属电极材料有什么要求?
简述外延薄膜的生长过程,其最显著的特征是什么?
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