简答题

在双极集成电路制造中,为什么要采用外延和埋层工艺?

正确答案

①外延:外延生长时控制气相反应中的杂质可以方便地形成不同导电类型、不同杂质浓度且杂质分布陡峭的外延层,满足某些特殊器件对材料结构和杂质分布的特殊要求。可以提高集电结击穿电压,而且比较好地解决了双极集成电路中的隔离问题。
②埋层:减小集电区串联电阻,改善其频率特性。

答案解析

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